เปิดเมนูหลัก

การออกแบบระบบไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาค

เนื้อหา

Introductionแก้ไข

Fabrication Processแก้ไข

Surface Micromachiningแก้ไข

Bulk Micromachiningแก้ไข

Process Integrationแก้ไข

Mechanics of Materialsแก้ไข

Microstructural Elementsแก้ไข

Energy Methodsแก้ไข

Electrostatic Actuatorsแก้ไข

Circuit Modeling of MEMSแก้ไข

Signal Conditioning Circuitsแก้ไข

Electronic and Mechanical Noiseแก้ไข

Capacitive Position Sensingแก้ไข

Wireless Communication Basicแก้ไข

Micromechanical Circuitsแก้ไข

Fluid Dynamicsแก้ไข

Microfluidicsแก้ไข